Ansteuervorrichtung, Optisches System und Lithographieanlage

WO2026013053 Art A1 15. Januar 2026

Anmelder: CARL ZEISS SMT GMBH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2026013053
Aktenzeichen: EP25739967
Anmeldetag: 8. Juli 2025
Veröffentlichung: 15. Januar 2026
Rechtsraum: WO
IPC: H02N2/06H10N30/80

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CARL ZEISS SMT GMBH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

2.391 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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