Compositions for post-cmp cleaning of microelectronic devices

WO2026015488 Art A1 15. Januar 2026

Anmelder: ENTEGRIS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2026015488
Aktenzeichen
EP25837189
Anmeldetag
8. Juli 2025
Veröffentlichung
15. Januar 2026
Rechtsraum
WO
IPC
C11D3/37C11D3/00C11D3/30C11D3/33C11D3/36C11D3/43H10P10/00H10P14/61
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
ENTEGRIS, INC.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

1.106 Patente in unserer Datenbank

Vertreten von

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