Compositions for post-cmp cleaning of microelectronic devices
WO2026015488
Art A1
15. Januar 2026
Anmelder: ENTEGRIS, INC. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2026015488
- Aktenzeichen
- EP25837189
- Anmeldetag
- 8. Juli 2025
- Veröffentlichung
- 15. Januar 2026
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- C11D3/37C11D3/00C11D3/30C11D3/33C11D3/36C11D3/43H10P10/00H10P14/61
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ENTEGRIS, INC.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
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Vertreten von
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