Device for substrate containers and methods of using the storage device

WO2026015541 Art A1 15. Januar 2026

Anmelder: ENTEGRIS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2026015541
Aktenzeichen: EP25837103
Anmeldetag: 8. Juli 2025
Veröffentlichung: 15. Januar 2026
Rechtsraum: WO
IPC: B08B9/08B08B5/00H10P72/10

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ENTEGRIS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

1.106 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Verfahrens- & Trenntechnik

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