Cmp Composition Including Aminosilane Modified Silica Coated Ceria Particles

WO2026015805 Art A1 15. Januar 2026

Anmelder: ENTEGRIS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2026015805
Aktenzeichen
EP25837868
Anmeldetag
11. Juli 2025
Veröffentlichung
15. Januar 2026
Rechtsraum
WO
IPC
C09G1/02C09K3/14B24B37/04
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
ENTEGRIS, INC.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

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