Substrate support, method for loading a substrate on a substrate support and lithographic apparatus

WO2026017397 Art A1 22. Januar 2026

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2026017397
Aktenzeichen: EP25739770
Anmeldetag: 1. Juli 2025
Veröffentlichung: 22. Januar 2026
Rechtsraum: WO
IPC: H10P72/76G06F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Software & Datenverarbeitung

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