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WO2026017503 Art A1 22. Januar 2026

Anmelder: STICHTING NEDERLANDSE WETENSCHAPPELIJK ONDERZOEK I, STICHTING VU, UNIVERSITEIT VAN AMSTERDAM, ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2026017503
Aktenzeichen: EP25739991
Anmeldetag: 9. Juli 2025
Veröffentlichung: 22. Januar 2026
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G03H1/04

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen: STICHTING NEDERLANDSE WETENSCHAPPELIJK ONDERZOEK I
STICHTING VU
UNIVERSITEIT VAN AMSTERDAM
ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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