Method of operating a dual beam device and corresponding apparatus

WO2026017513 Art A1 22. Januar 2026

Anmelder: CARL ZEISS SMT GMBH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2026017513
Aktenzeichen: EP25740731
Anmeldetag: 9. Juli 2025
Veröffentlichung: 22. Januar 2026
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/28H01J37/30H01J37/304

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CARL ZEISS SMT GMBH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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