Ion source system, mass spectrometry system, and deterioration determination method

WO2026018513 Art A1 22. Januar 2026

Anmelder: HITACHI HIGH-TECH CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2026018513
Aktenzeichen: EP25840750
Anmeldetag: 17. April 2025
Veröffentlichung: 22. Januar 2026
Rechtsraum: WO
IPC: G01N27/62H01J49/00H01J49/16

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: HITACHI HIGH-TECH CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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