Tdi camera synchronization for mask inspection system

WO2026021666 Art A1 29. Januar 2026

Anmelder: CARL ZEISS SMT GMBH, CARL ZEISS SMS LTD. 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2026021666
Aktenzeichen: EP24748384
Anmeldetag: 24. Juli 2024
Veröffentlichung: 29. Januar 2026
Rechtsraum: WO
IPC: G03F1/84G03F7/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: CARL ZEISS SMT GMBH
CARL ZEISS SMS LTD.
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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