Turbomolecular vacuum pump and method for mounting a splinter shield

WO2026021690 Art A1 29. Januar 2026

Anmelder: PFEIFFER VACUUM 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2026021690
Aktenzeichen
EP25719622
Anmeldetag
1. April 2025
Veröffentlichung
29. Januar 2026
Rechtsraum
WO
IPC
F04D19/04F04D29/52F04D29/64F04D29/70
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
PFEIFFER VACUUM
Land
🇫🇷 Frankreich
🇩🇪 Pfeiffer Vacuum

Deutsches Unternehmen, das Vakuumpumpen und Vakuumtechnik für Industrie, Forschung und Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt.

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