Method and apparatus for homogenizing a beam of radiation

WO2026021804 Art A1 29. Januar 2026

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2026021804
Aktenzeichen: EP25737701
Anmeldetag: 2. Juli 2025
Veröffentlichung: 29. Januar 2026
Rechtsraum: WO
IPC: G02B6/26G02B27/09G02B6/14

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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