Optical measuring arrangement for recording distances

WO2026021953 Art A1 29. Januar 2026

Anmelder: CARL ZEISS SMT GMBH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2026021953
Aktenzeichen: EP25742897
Anmeldetag: 15. Juli 2025
Veröffentlichung: 29. Januar 2026
Rechtsraum: WO
IPC: G01B11/02G01B9/02003G01B9/02061

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: CARL ZEISS SMT GMBH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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