Control device, plasma processing system, and control method

WO2026022870 Art A1 29. Januar 2026

Anmelder: FUJI CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2026022870
Aktenzeichen
EP24948752
Anmeldetag
22. Juli 2024
Veröffentlichung
29. Januar 2026
Rechtsraum
WO
IPC
H05H1/26
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
FUJI CORPORATION
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Fuji Machine Mfg.

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chiryu, das Bestückungsautomaten und Fertigungssysteme für die Elektronikindustrie herstellt.

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