Scanning interference microscope and scanning interference measuring method

WO2026023001 Art A1 29. Januar 2026

Anmelder: HITACHI HIGH-TECH CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2026023001
Aktenzeichen
EP24948698
Anmeldetag
25. Juli 2024
Veröffentlichung
29. Januar 2026
Rechtsraum
WO
IPC
G01B9/0209G01B11/06
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
HITACHI HIGH-TECH CORPORATION
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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