Gas supply apparatus and substrate processing apparatus
WO2026024031
Art A1
29. Januar 2026
Anmelder: JUSUNG ENGINEERING CO., LTD. 🇰🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2026024031
- Aktenzeichen
- EP25845378
- Anmeldetag
- 22. Juli 2025
- Veröffentlichung
- 29. Januar 2026
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- C23C16/448C23C16/455C23C16/52C23C16/44H10P72/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- JUSUNG ENGINEERING CO., LTD.
- Land
- 🇰🇷 Südkorea
🇰🇷
Jusung Engineering
Jusung Engineering ist ein südkoreanischer Hersteller von Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung. Das Patentportfolio konzentriert sich fast vollständig auf Halbleitertechnik, ergänzt durch Metallurgie und Elektronik. Die Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2025 ab.
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