Diode-based radio frequency (rf) matching network with multilevel plasma impedance matching

WO2026024275 Art A1 29. Januar 2026

Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2026024275
Aktenzeichen
EP24948914
Anmeldetag
24. Juli 2024
Veröffentlichung
29. Januar 2026
Rechtsraum
WO
IPC
H01J37/32H03H7/38
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
APPLIED MATERIALS, INC.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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