Diode-based radio frequency (rf) matching network with multilevel plasma impedance matching
WO2026024275
Art A1
29. Januar 2026
Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2026024275
- Aktenzeichen
- EP24948914
- Anmeldetag
- 24. Juli 2024
- Veröffentlichung
- 29. Januar 2026
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01J37/32H03H7/38
Abstract
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Anmelder
- Firma
- APPLIED MATERIALS, INC.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Applied Materials
US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.
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