Error recovery system for substrate processing systems

WO2026024498 Art A1 29. Januar 2026

Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2026024498
Aktenzeichen: EP25845008
Anmeldetag: 15. Juli 2025
Veröffentlichung: 29. Januar 2026
Rechtsraum: WO
IPC: G06F11/07G06F3/0483G06F3/0482G06F16/9032G06F16/9038

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: LAM RESEARCH CORPORATION
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

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Fachgebiete

Software & Datenverarbeitung

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