Showerhead metrology and processing station

WO2026024656 Art A1 29. Januar 2026

Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2026024656
Aktenzeichen: EP25844868
Anmeldetag: 21. Juli 2025
Veröffentlichung: 29. Januar 2026
Rechtsraum: WO
IPC: G01D21/00G01D5/353G01F15/06G01S17/08G01L19/08G01N21/84C23C16/455H01J37/32

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: LAM RESEARCH CORPORATION
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

2.725 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von