Integrated system applicable to multi-mode polarization interference grating exposure
WO2026027001
Art A2
5. Februar 2026
Anmelder: SOUTHEAST UNIVERSITY 🇨🇳
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2026027001
- Aktenzeichen
- EP25847342
- Anmeldetag
- 14. Oktober 2025
- Veröffentlichung
- 5. Februar 2026
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- SOUTHEAST UNIVERSITY
- Land
- 🇨🇳 China
🇨🇳
Southeast University
Chinesische Universität mit Sitz in Nanjing, Schwerpunkt auf Ingenieur- und Technikwissenschaften.
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