Method for controlling a scanning charged-particle microscope, and associated device and system

WO2026027665 Art A1 5. Februar 2026

Anmelder: CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE, UNIVERSITE PARIS-SACLAY, UNIVERSITE DE LILLE, CENTRALE LILLE INSTITUT, INSTITUT NATIONAL DE RECHERCHE POUR L'AGRICULTURE 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2026027665
Aktenzeichen: EP25749846
Anmeldetag: 31. Juli 2025
Veröffentlichung: 5. Februar 2026
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/26H01J37/28

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE
UNIVERSITE PARIS-SACLAY
UNIVERSITE DE LILLE
CENTRALE LILLE INSTITUT
INSTITUT NATIONAL DE RECHERCHE POUR L'AGRICULTURE
Land: 🇫🇷 Frankreich

🇫🇷 Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)

Französische staatliche Forschungsorganisation mit Sitz in Paris. Betreibt Grundlagen- und angewandte Forschung in nahezu allen wissenschaftlichen Disziplinen über zahlreiche Institute und Labore.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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