Foreign matter deposition amount estimation device and piping component

WO2026028069 Art A1 5. Februar 2026

Anmelder: EDWARDS JAPAN LIMITED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2026028069
Aktenzeichen: EP25759182
Anmeldetag: 28. Juli 2025
Veröffentlichung: 5. Februar 2026
Rechtsraum: WO
IPC: G01N27/22G01F23/26G01B7/06

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: EDWARDS JAPAN LIMITED
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Edwards Japan

Edwards Japan ist die japanische Landesgesellschaft des Vakuumpumpenherstellers Edwards, der zur Atlas-Copco-Gruppe gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Energie- und Antriebstechnik sowie Maschinenelemente und Fluidtechnik, mit Bezug zur Halbleiterfertigung. Die Titel betreffen unter anderem die Erkennung von Fremdstoffablagerungen in Vakuumpumpen.

290 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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