Alignment method, manufacturing method, lithography method, alignment device, and program
WO2026029106
Art A1
5. Februar 2026
Anmelder: DEXERIALS CORPORATION, TOHOKU UNIVERSITY 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2026029106
- Aktenzeichen
- EP25848179
- Anmeldetag
- 30. Juli 2025
- Veröffentlichung
- 5. Februar 2026
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G03F9/00G03F7/20H10P76/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- DEXERIALS CORPORATION
TOHOKU UNIVERSITY - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Dexerials
Japanischer Hersteller elektronischer Komponenten und optischer Materialien mit Sitz in Tokio, 2012 als Ausgründung aus Sony Chemical hervorgegangen.
964 Patente in unserer Datenbank
🇯🇵
Tohoku University
Staatliche Universität in Sendai, Japan, mit Forschungsschwerpunkten unter anderem in Materialwissenschaften und Werkstofftechnik.
837 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Kein Vertreter erfasst.