High temperature esc for better temperature uniformity and control

WO2026029968 Art A1 5. Februar 2026

Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2026029968
Aktenzeichen: EP25848697
Anmeldetag: 14. Juli 2025
Veröffentlichung: 5. Februar 2026
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/32H10P72/70H10P72/00H10P72/76

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: LAM RESEARCH CORPORATION
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

2.725 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von