Pulsed voltage waveform delivery for deposition

WO2026030000 Art A1 5. Februar 2026

Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2026030000
Aktenzeichen: EP25848719
Anmeldetag: 17. Juli 2025
Veröffentlichung: 5. Februar 2026
Rechtsraum: WO
IPC: C23C14/34C23C14/14C23C14/35C23C14/56C23C16/50

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: APPLIED MATERIALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von