Thermal atomic layer etching using refluorination

WO2026030577 Art A1 5. Februar 2026

Anmelder: THE REGENTS OF THE UNIVERSITY OF COLORADO, A BODY 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2026030577
Aktenzeichen: EP25848165
Anmeldetag: 31. Juli 2025
Veröffentlichung: 5. Februar 2026
Rechtsraum: WO
IPC: C09K13/04C09K13/08C23F1/12C23F1/10H10P50/28

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: THE REGENTS OF THE UNIVERSITY OF COLORADO, A BODY
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 The Regents of the University of Colorado, a Body Corporate

The Regents of the University of Colorado, A Body Corporate ist die Trägerkörperschaft der University of Colorado in den USA. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Medizintechnik und Gesundheit sowie Pharma und organische Chemie, ergänzt durch Halbleiter- und Werkstofftechnik. Anmeldungen sind von 2001 bis in die Gegenwart belegt.

1.041 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von