Vorrichtung zum Auftragen von Materialien auf Substrate, insbesondere zum Belacken von Si-Wafern

EP1046959 Art A3 6. April 2005

Anmelder: Thallner, Erich, Thallner, Erich, Dipl.-Ing. 🇦🇹

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1046959
Aktenzeichen
EP00890124
Anmeldetag
20. April 2000
Veröffentlichung
6. April 2005
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/16B05C9/08H01L21/00C23C4/12B05D1/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Thallner, Erich
Thallner, Erich, Dipl.-Ing.
Land
🇦🇹 Österreich

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Optik & Fototechnik Verfahrens- & Trenntechnik
Vertreten von
Hübscher, Helmut Linz, Österreich
696
Patente gesamt
34
Fachgebiete
10
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik Maschinenelemente & Fluidtechnik Hochbau & Gebäudetechnik Haushalts-, Möbel- & Konsumgüter Kunststoff- & Polymertechnik
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