Verfahren zum anisotropen Ätzen von Kupferdünnfilmen mittels Beta-Diketone, Beta-Ketoimine oder ihrer Abbauprodukte

EP1052689 Art A1 15. November 2000

Anmelder: AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1052689
Aktenzeichen: EP00109194
Anmeldetag: 9. Mai 2000
Veröffentlichung: 15. November 2000
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/3213C23F4/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Air Products

US-amerikanisches Industriegasunternehmen mit Sitz in Allentown, Pennsylvania, Hersteller und Lieferant von Industriegasen sowie zugehörigen Anlagen und Verfahrenstechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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