Maskenrohling und Maske für Elektronenstrahllithographie sowie Verfahren zu deren Herstellung
EP1065566
Art A3
13. Januar 2010
Anmelder: HOYA CORPORATION 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1065566
- Aktenzeichen
- EP00305513
- Anmeldetag
- 30. Juni 2000
- Veröffentlichung
- 13. Januar 2010
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F1/14G03F1/16
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- HOYA CORPORATION
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Hoya
Japanischer Konzern mit Sitz in Tokio, aktiv in den Bereichen optische Gläser, Halbleiterfotomasken und medizinische Endoskopie- sowie Augenheilkundeprodukte.
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Fachgebiete
Kanzlei
Mathys & Squire
München, Deutschland
Mathys & Squire wurde 1910 gegründet und blickt auf über ein Jahrhundert Erfahrung zurück, mit zahlreichen britischen Standorten sowie Luxemburg, München und Paris und Teams in China und Japan, beraten auch auf Deutsch und Chinesisch.
21.087
Patente gesamt
19
Patentanwälte
3
Standorte
Weitere Vertreter
-
Cozens, Paul Dennis
Mathys & Squire · London