Chlortrifluorid- Gasgeneratorsystem

EP1084076 Art B1 8. Oktober 2008

Anmelder: SURFACE TECHNOLOGY SYSTEMS PLC, Surface Technology Systems Limited 🇬🇧

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1084076
Aktenzeichen
EP00907809
Anmeldetag
6. März 2000
Veröffentlichung
8. Oktober 2008
Erteilung
8. Oktober 2008
Rechtsraum
EP
IPC
C01B7/24B01J7/00B01J12/00B01J19/24B01J19/08H01L21/3065
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
SURFACE TECHNOLOGY SYSTEMS PLC
Surface Technology Systems Limited
Land
🇬🇧 Großbritannien

Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Verfahrens- & Trenntechnik
Vertreten von
Lambert, Ian Robert Manchester, Großbritannien
236
Patente gesamt
32
Fachgebiete
17
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Medizintechnik & Gesundheit Halbleiter & Elektrische Bauelemente Verfahrens- & Trenntechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Nachrichtentechnik & Telekommunikation Software & Datenverarbeitung
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