Entwicklerzusammensetzungen für Photoresists die alkylierte Aminoalkylpiperazintenside enthalten

EP1093023 Art A1 18. April 2001

Anmelder: AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1093023
Aktenzeichen
EP00121364
Anmeldetag
11. Oktober 2000
Veröffentlichung
18. April 2001
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/32C11D11/00C11D3/30C11D1/40
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Air Products

US-amerikanisches Industriegasunternehmen mit Sitz in Allentown, Pennsylvania, Hersteller und Lieferant von Industriegasen sowie zugehörigen Anlagen und Verfahrenstechnik.

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