Optisches Projektionslinsensystem

EP1094350 Art A3 16. August 2001

Anmelder: Carl Zeiss SMT AG, Carl Zeiss, Carl-Zeiss-Stiftung trading as Carl Zeiss 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1094350
Aktenzeichen
EP00119874
Anmeldetag
13. September 2000
Veröffentlichung
16. August 2001
Rechtsraum
EP
IPC
G02B13/14G02B13/24G02B13/18G03F7/20
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Carl Zeiss SMT AG
Carl Zeiss
Carl-Zeiss-Stiftung trading as Carl Zeiss
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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