Schultz, Jörg Martin
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Patente
22 gesamt| Patent | |||
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19.10.2011 · Carl Zeiss SMT GmbH
Mikrolithographie-Projektionssystem mit einer zugänglichen Aperturblende
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14.11.2007 · Carl Zeiss Sports Optics GmbH
Vorrichtung zum Halten einer Kamera hinter einem Fernglas
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Status
Angemeldet am 03.09.2003
Erteilt am 14.11.2007
Vertretung
Schultz, Jörg Martin · Oberkochen
Müller-Rissmann, Werner Albrecht, Dr · Oberkochen
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12.09.2007 · Carl Zeiss Optronics Wetzlar GmbH
Spiegelvisier
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Status
Angemeldet am 05.07.2001
Erteilt am 12.09.2007
Vertretung
Schultz, Jörg Martin · Oberkochen
Müller-Rissmann, Werner Albrecht, Dr · Oberkochen
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29.08.2007 · Carl Zeiss SMT AG
Projektionsbelichtungsanlage mit reflektivem Retikel
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Status
Angemeldet am 10.01.2001
Erteilt am 29.08.2007
Vertretung
Müller-Rissmann, Werner Albrecht, Dr · Oberkochen
Schultz, Jörg Martin · Oberkochen
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22.08.2007 · Carl Zeiss SMT AG
Optisches Sendeelement und Objektiv für eine Belichtungsvorrichtung für Mikrolithographische Projektionen
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04.07.2007 · Carl Zeiss SMT AG
Projektionsbelichtungsvorrichtung für Mikrolithographie
EP1803036
Optik & Fototechnik
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21.02.2007 · Carl Zeiss SMT AG
Mehrschichtsystem mit Schutzschichtsystem und Herstellungsverfahren
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Status
Angemeldet am 23.03.2001
Erteilt am 21.02.2007
Vertretung
Schultz, Jörg Martin · Oberkochen
Müller-Rissmann, Werner Albrecht, Dr · Oberkochen
Fuchs Mehler Weiss & Fritzsche · Wiesbaden
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13.12.2006 · Carl Zeiss SMT AG
Verfahren zur Herstellung Reflektierender Optischer Elemente, Reflektierende Optische Elemente, Euv-Lithographievorrichtungen und -Verfahren zum Betreiben von Optischen Elementen und Euv-Lithographievorrichtungen, Verfahren zur Bestimmung der Phasenverschiebung, Verfahren zur Bestimmung der Schichtdicke und Vorrichtungen zum Ausführen
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13.09.2006 · Carl Zeiss SMT GmbH
Objektiv Verwendbar als Mikrolithographisches Projektionsobjektiv mit mindestens einer Flüssigkeitslinse
EP1700163
Optik & Fototechnik
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30.08.2006 · Carl Zeiss SMT AG
Beleuchtungssystem für die Mikrolithographie
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Status
Angemeldet am 27.07.2001
Erteilt am 30.08.2006
Vertretung
Müller-Rissmann, Werner Albrecht, Dr · Oberkochen
Schultz, Jörg Martin · Oberkochen
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Patente nach Jahr
Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung: so viele Anmeldungen sind für das Jahr insgesamt zu erwarten.