Verwendung von alkylierten Polyaminen in Fotoresistentwicklern

EP1115033 Art A1 11. Juli 2001

Anmelder: AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1115033
Aktenzeichen: EP01100010
Anmeldetag: 3. Januar 2001
Veröffentlichung: 11. Juli 2001
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/32

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Air Products

US-amerikanisches Industriegasunternehmen mit Sitz in Allentown, Pennsylvania, Hersteller und Lieferant von Industriegasen sowie zugehörigen Anlagen und Verfahrenstechnik.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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