Verwendung von N,N-Dialkylharnstoff-Verbindungen in Fotoresistentwicklern
EP1115034
Art A1
11. Juli 2001
Anmelder: AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1115034
- Aktenzeichen
- EP01100011
- Anmeldetag
- 3. Januar 2001
- Veröffentlichung
- 11. Juli 2001
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/32
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Air Products
US-amerikanisches Industriegasunternehmen mit Sitz in Allentown, Pennsylvania, Hersteller und Lieferant von Industriegasen sowie zugehörigen Anlagen und Verfahrenstechnik.
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Fachgebiete
Vertreten von
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SSM Sandmair
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Schwabe - Sandmair - Marx
Schwabe - Sandmair - Marx · München