Verfahren zur Speicherung von Wafern und Lagerbehalter dafür und Verfahren zur Ebertragung von Wafern zu Diesem Lagerbehalter
EP1119039
Art A1
25. Juli 2001
Anmelder: SHIN-ETSU HANDOTAI COMPANY LIMITED 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1119039
- Aktenzeichen
- EP00942431
- Anmeldetag
- 30. Juni 2000
- Veröffentlichung
- 25. Juli 2001
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/68B65D85/86
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- SHIN-ETSU HANDOTAI COMPANY LIMITED
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Shin-Etsu Handotai
Japanisches Unternehmen der Shin-Etsu-Gruppe, das Siliziumwafer für die Halbleiterindustrie herstellt.
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