Zweidimensionaler Elektromotor, Belichtungsapparat und Verfahren zur Herstellung eines Halbleiters

EP1124310 Art A3 10. April 2002

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1124310
Aktenzeichen: EP00102790
Anmeldetag: 10. Februar 2000
Veröffentlichung: 10. April 2002
Rechtsraum: EP
IPC: H02K41/03

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik

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