Verfahren und Reaktor zum Aufdampfen mittels SACVD
EP1130130
Art A1
5. September 2001
Anmelder: STMicroelectronics Srl, STMicroelectronics S.r.l. 🇮🇹
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1130130
- Aktenzeichen
- EP00830153
- Anmeldetag
- 29. Februar 2000
- Veröffentlichung
- 5. September 2001
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C16/44H01L21/316
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- STMicroelectronics Srl
STMicroelectronics S.r.l. - Land
- 🇮🇹 Italien
🇮🇹
STMicroelectronics Italy
Italienische Konzerngesellschaft des schweizerisch-französischen Halbleiterherstellers STMicroelectronics. Entwickelt und fertigt Halbleiterkomponenten für Automobil-, Industrie- und Konsumelektronik.
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Kanzlei
Botti & Ferrari S.p.A
Milano, Italien
Botti & Ferrari wurde 1999 von Fachleuten mit Erfahrung in internationalen IP-Kanzleien gegründet, heute mit Büros in Mailand, Bologna und Brescia, rund die Hälfte der Mandate aus dem Ausland. Anwälte regelmäßig in Einspruchsverfahren vor dem Europäischen Patentamt tätig.
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