Haltevorrichtung für ein optisches Element eines Belichtungsapparats

EP1139175 Art A3 9. Februar 2005

Anmelder: NIKON CORPORATION, Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1139175
Aktenzeichen
EP01108020
Anmeldetag
29. März 2001
Veröffentlichung
9. Februar 2005
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/20
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
NIKON CORPORATION
Nikon Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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