Verfahren zur Abscheidung von Oxyden und Nitriden mit Zusammensetzungsgradienten

EP1146140 Art B1 28. März 2007

Anmelder: AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1146140
Aktenzeichen: EP01107778
Anmeldetag: 4. April 2001
Veröffentlichung: 28. März 2007
Erteilung: 28. März 2007
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/02C23C16/52

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Air Products

US-amerikanisches Industriegasunternehmen mit Sitz in Allentown, Pennsylvania, Hersteller und Lieferant von Industriegasen sowie zugehörigen Anlagen und Verfahrenstechnik.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von