Verfahren zur Herstellung von Masken für die Fertigung von Halbleiterstrukturen

EP1146393 Art B1 2. November 2016

Anmelder: Polaris Innovations Limited, Infineon Technologies AG, Qimonda AG 🇮🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1146393
Aktenzeichen: EP01107628
Anmeldetag: 27. März 2001
Veröffentlichung: 2. November 2016
Erteilung: 2. November 2016
Rechtsraum: EP
IPC: G03F1/00G03F1/70

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Polaris Innovations Limited
Infineon Technologies AG
Qimonda AG
Land: 🇮🇪 Irland

🇩🇪 Infineon Technologies

Deutscher Halbleiterkonzern mit Sitz in Neubiberg bei München, hervorgegangen aus Siemens. Entwickelt und fertigt Halbleiter und Systemlösungen für Automobil-, Industrie- und Sicherheitsanwendungen.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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