Mehrschichtsystem mit Schutzschichtsystem und Herstellungsverfahren

EP1150139 Art B1 21. Februar 2007

Anmelder: Carl Zeiss SMT AG, Carl Zeiss, Carl-Zeiss-Stiftung trading as Carl Zeiss, CARL ZEISS-STIFTUNG HANDELND ALS CARL ZEISS 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1150139
Aktenzeichen
EP01107215
Anmeldetag
23. März 2001
Veröffentlichung
21. Februar 2007
Erteilung
21. Februar 2007
Rechtsraum
EP
IPC
G02B1/10G21K1/06
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen
Carl Zeiss SMT AG
Carl Zeiss
Carl-Zeiss-Stiftung trading as Carl Zeiss
CARL ZEISS-STIFTUNG HANDELND ALS CARL ZEISS
Land
🇩🇪 Deutschland
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