Mehrschichtsystem mit Schutzschichtsystem und Herstellungsverfahren
EP1150139
Art B1
21. Februar 2007
Anmelder: Carl Zeiss SMT AG, Carl Zeiss, Carl-Zeiss-Stiftung trading as Carl Zeiss, CARL ZEISS-STIFTUNG HANDELND ALS CARL ZEISS 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1150139
- Aktenzeichen
- EP01107215
- Anmeldetag
- 23. März 2001
- Veröffentlichung
- 21. Februar 2007
- Erteilung
- 21. Februar 2007
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G02B1/10G21K1/06
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Carl Zeiss SMT AG
Carl Zeiss
Carl-Zeiss-Stiftung trading as Carl Zeiss
CARL ZEISS-STIFTUNG HANDELND ALS CARL ZEISS - Land
- 🇩🇪 Deutschland
Fachgebiete
Vertreten von
Schultz, Jörg Martin
Oberkochen, Deutschland
22
Patente gesamt
5
Fachgebiete
1
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Müller-Rissmann, Werner Albrecht, Dr
NoneOberkochen
-
Fuchs Mehler Weiss & Fritzsche
Fuchs Mehler Weiss & Fritzsche · Wiesbaden