Verfahren zur Plasmabeschichtung und Vorrichtung mit einem Magnetischen Behälter, einem Konzentrischen Plasma sowie einer Materialquelle
EP1151147
Art A1
7. November 2001
Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED, Tokyo Electron Limited 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1151147
- Aktenzeichen
- EP00913352
- Anmeldetag
- 2. Februar 2000
- Veröffentlichung
- 7. November 2001
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/34H01J37/32
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- TOKYO ELECTRON LIMITED
Tokyo Electron Limited - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Tokyo Electron
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.
2.414 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Kanzlei
Boehmert & Boehmert
München, Deutschland
Boehmert & Boehmert geht auf die Zulassung von Dr. Karl Boehmert 1931 in Berlin zurück. Mit Standorten in Deutschland, Alicante, Paris und Shanghai bietet die Kanzlei IP aus einer Hand und legt besonderen Wert auf persönliche Mandantenbetreuung statt Anonymität.
38.880
Patente gesamt
25
Patentanwälte
2
Standorte
Weitere Vertreter
-
Wallace, Sheila Jane
NoneLondon
-
Findlay, Alice Rosemary
Reddie & Grose LLP · London