Verfahren zum Galvanischen Bilden von Leiterstrukturen aus Hochreinem Kupfer bei der Herstellung von Integrierten Schaltungen
Anmelder: MKS IP Association, ATOTECH Deutschland GmbH 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1153430
- Aktenzeichen
- EP00908927
- Anmeldetag
- 11. Januar 2000
- Veröffentlichung
- 10. November 2004
- Erteilung
- 10. November 2004
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/768H01L21/288
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- MKS IP Association
ATOTECH Deutschland GmbH - Land
- 🇩🇪 Deutschland
Der Anmelder MKS IP Association ist eine in Deutschland ansässige Patentverwertungsgesellschaft. Das Portfolio konzentriert sich auf Metallurgie und Oberflächentechnik sowie Elektronik- und Halbleitertechnik, etwa im Bereich industrieller Reinigungs- und Beschichtungsprozesse. Anmeldungen erfolgten von 2000 bis 2020.
482 Patente in unserer Datenbank
Atotech Deutschland ist ein deutscher Anbieter von Oberflächenveredelungschemie, unter anderem für die Elektronik- und Halbleiterindustrie, und gehört zum US-Konzern MKS Instruments. Das Patentportfolio konzentriert sich deutlich auf Metallurgie und Oberflächentechnik, ergänzt durch Elektronik und Halbleitertechnik. Anmeldungen erstrecken sich von 2000 bis 2025.
545 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
-
Patentanwälte Bressel und Partner mbB
Patentanwälte Bressel und Partner mbB · Berlin