Internes Element für Plasmabehandlungsbehälter und Herstellungsverfahren

EP1156130 Art B1 20. Februar 2019

Anmelder: Tocalo Co., Ltd., Tokyo Electron Co., Ltd., TOCALO CO. LTD., TOKYO ELECTRON LIMITED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1156130
Aktenzeichen
EP00979084
Anmeldetag
4. Dezember 2000
Veröffentlichung
20. Februar 2019
Erteilung
20. Februar 2019
Rechtsraum
EP
IPC
B01J19/02C09D1/00C23C4/00C23C4/02C23C4/10C23C4/11H01J37/32
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Tocalo Co., Ltd.
Tokyo Electron Co., Ltd.
TOCALO CO. LTD.
TOKYO ELECTRON LIMITED
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

2.414 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Verfahrens- & Trenntechnik
Vertreten von
Nash, David Allan Bristol, Großbritannien
1.684
Patente gesamt
32
Fachgebiete
24
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Organische Chemie Verfahrens- & Trenntechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Medizintechnik & Gesundheit Kunststoff- & Polymertechnik
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