Plasmabehandlungsgerät und -verfahren

EP1162646 Art A3 13. Oktober 2004

Anmelder: Panasonic Electric Works Co., Ltd., Matsushita Electric Works, Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1162646
Aktenzeichen: EP01112611
Anmeldetag: 23. Mai 2001
Veröffentlichung: 13. Oktober 2004
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/32

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Panasonic Electric Works Co., Ltd.
Matsushita Electric Works, Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Panasonic

Japanischer Konzern, der Haushaltsgeräte, Unterhaltungselektronik, Batterien sowie Komponenten und Lösungen für Industrie und Automobilbau entwickelt und herstellt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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