Gerät zur Schnellen Messung Winkelabhängiger Beugungseffekte an Feinstrukturierten Oberflächen

EP1166090 Art B8 8. März 2006

Anmelder: Infineon Technologies SC300 GmbH & Co. OHG, Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V., Infineon Technologies SC300 GmbH & Co. KG, Semiconductor300 GmbH & Co. KG, FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1166090
Aktenzeichen: EP00925151
Anmeldetag: 31. März 2000
Veröffentlichung: 8. März 2006
Erteilung: 8. März 2006
Rechtsraum: EP
IPC: G01N21/47G01B11/30

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Infineon Technologies SC300 GmbH & Co. OHG
Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Infineon Technologies SC300 GmbH & Co. KG
Semiconductor300 GmbH & Co. KG
FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Fraunhofer-Gesellschaft

Deutsche gemeinnützige Forschungsorganisation mit Sitz in München. Betreibt anwendungsorientierte Forschung in Technik und Naturwissenschaften über zahlreiche Institute für Industrie und Gesellschaft.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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