Vielstrahl-Elektronenstrahl-Lithographievorrichtung mit Unterschiedlichen Strahlblenden
EP1166319
Art B1
25. April 2007
Anmelder: FEI COMPANY, Philips Electron Optics B.V. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1166319
- Aktenzeichen
- EP00985165
- Anmeldetag
- 13. Dezember 2000
- Veröffentlichung
- 25. April 2007
- Erteilung
- 25. April 2007
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/06
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- FEI COMPANY
Philips Electron Optics B.V. - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
FEI Company
US-amerikanischer Hersteller von Elektronenmikroskopen und wissenschaftlichen Bildgebungssystemen, seit 2016 Teil von Thermo Fisher Scientific. Patente betreffen Elektronen- und Ionenmikroskopie sowie Materialanalyse.
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Bakker, Hendrik
Eindhoven, Niederlande
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