Materialhandhabungssystem und Verfahren für ein Mehrkammer-Plasmabehandlungssystem

EP1172843 Art A2 16. Januar 2002

Anmelder: NORDSON CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1172843
Aktenzeichen: EP01116266
Anmeldetag: 5. Juli 2001
Veröffentlichung: 16. Januar 2002
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NORDSON CORPORATION
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Nordson

Nordson ist ein US-amerikanischer Hersteller von Präzisionsdosier- und Auftragssystemen für die industrielle Fertigung. Das Portfolio konzentriert sich auf Verfahrens- und Trenntechnik, ergänzt durch Kunststofftechnik, Verpackung sowie Mess- und Prüfsysteme, etwa für die Röntgeninspektion von Bauteilen. Anmeldungen sind von 2000 bis in die Gegenwart belegt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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