CVD-Verfahren zum Auftragen des Kupfers auf eine Sperrschicht

EP1180553 Art A1 20. Februar 2002

Anmelder: AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1180553
Aktenzeichen: EP01119547
Anmeldetag: 14. August 2001
Veröffentlichung: 20. Februar 2002
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/18C23C16/02H01L21/285H01L21/768

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Air Products

US-amerikanisches Industriegasunternehmen mit Sitz in Allentown, Pennsylvania, Hersteller und Lieferant von Industriegasen sowie zugehörigen Anlagen und Verfahrenstechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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