Beleuchtungssystem für die Mikrolithographie
EP1180726
Art B1
30. August 2006
Anmelder: Carl Zeiss SMT AG, Carl Zeiss 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1180726
- Aktenzeichen
- EP01117712
- Anmeldetag
- 27. Juli 2001
- Veröffentlichung
- 30. August 2006
- Erteilung
- 30. August 2006
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Carl Zeiss SMT AG
Carl Zeiss - Land
- 🇩🇪 Deutschland
Fachgebiete
Vertreten von
Schultz, Jörg Martin
Oberkochen, Deutschland
22
Patente gesamt
5
Fachgebiete
1
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Müller-Rissmann, Werner Albrecht, Dr
NoneOberkochen